上海微电子装备有限公司

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地址:上海浦东新区张江张东路1525号
邮编:201203
所属行业:电工电器
企业网址:http://www.smee.com.cn
电话:021-51315131
传真:021-58969019

  服务创新力

    上海微电子装备有限公司(简称SMEE)成立于2002年3月,是在科技部和上海市政府推动下由上海市多家企业集团和投资公司投资组建的高科技有限责任公司,公司是国内专注从事应用于大规模生产的中高端投影光刻设备研发、制造及销售的专业公司,产品可广泛应用于IC制造、先进封装、MEMS、LED、OLED-TFT等制造领域。公司形成的主要产品有:用于前道IC制造的扫描投影光刻机、用于IC封装和MEMS制造的步进光刻机、用于下一代平板显示电路制造的光刻机、用于高亮度LED照明制造的光刻机、用于光刻机和刻蚀机配套的高精度温控产品、运用光刻机技术的其他专业设备。
    SMEE “十五”期间承担了国家863重大科技专项任务扫描投影光刻机的研制任务,“十一五和十二五”期间被国家确定为“02”科技重大专项高端扫描投影光刻机研制和先进封装光刻机产业化的承担单位。公司具有10年主持承担国家光刻机专项及科技重大专项的经历和经验,拥有了一批既掌握多学科前沿技术又具有很强的系统工程解决问题能力的核心团队,公司是国内目前唯一具备制造多领域、多品种产线用高端光刻机能力的供应商。目前世界上仅有荷兰ASML公司、日本的Nikon公司和Canon公司生产高端投影光刻机,公司也成为世界上继欧洲和日本3家光刻机公司之后的第4家掌握高端光刻机的系统设计与系统集成测试技术的公司。
    公司通过十年高端光刻机的攻关和技术辐射,使国内光刻机的技术水平与国际先进水平的差距大为缩小,突破并掌握了一批核心关键技术并拥有了这一领域的多项自主知识产权,截止2014年06月30日,公司申请专利总数共计1442件,获得授权专利644件,其中申请中国发明专利1191项,中国发明专利授权474项,申请国外发明专利92项,授权23项。公司于2010年被评为国家知识产权示范创建企业、上海市首批“创新型企业”、于2011年被评为上海市高新技术企业、于2012年被评为上海市创新型企业、于2013年被评为国家级知识产权示范企业等。

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